KOREAN
현재 위치
  1. HOME
  2. Business area
  3. Industrial Equipment

		산업기계 설비 : Vacuum System : 파티클에 의한 진공도 저하 방지
		증착이나 에칭에 따른 진공펌프는 공정과 투입재료에 따라 파티클이 발생합니다. 주로 배관과 펌프 입출구 쪽에 누적이 되어 장비의 수명과 생산제품의 불량을 초래합니다. 이런 부분에 당사제품을 Passivation 및 코팅 하여 파티클의 Stacking을 방지하고 PM 주기 및 횟수를 줄이며 Through-put 증대 그리고 장비 및 유틸리티의 수명을 연장합니다.  

위치